Sigma系列产品是基于Gemini设计研发的,此项技术已运用超20年之久,不断打磨改进,具有完整高效的探测系统、出色的图像分辨率和易用性等特点。Gemini的设计原理通过对二次电子(SE)和/或背散射电子(BSE)的探测来确保高效的信号检测,其物镜的设计结合了静电场与电磁场,在大幅提升光学性能的同时将它们对样品的影响大大降低。同时,本设备配备的Inlens测器安装在电子束光路的正光轴上,减少了重新校准的操作,大大的缩短了成像时间。Gemini电子束推进器技术可以保证在超低加速电压下获得小束斑和高信噪比的图像。此外,它确保了电子束在镜筒中运动时始终保持高加速电压,更至出镜筒后才减速至设定电压,更大程度地减小外部杂散磁场对系统灵敏度的影响。 |