热场发射扫描电子显微镜简介及收费标准

热场发射扫描电子显微镜

厂家：德国蔡司公司

型号：Zeiss Sigma HD

主要技术性能指标：

二次电子像分辨率：15 kV时1nm

背散射像分辨率：15 kV时2nm

探针电流：4pA～20 nA 连续可调

放大倍率：10 ～ 1000,000倍

样品室尺寸：左右内径≥355 mm，可容纳直径样品不低于250mm

能谱仪元素分析范围Be4—U94，分辨率MnKa优于127eV，C Ka优于56eV，F Ka优于65eV（20000CPS）

应用领域：

该设备主要用于金属材料等导体，半导体，陶瓷、粉末等不导体材料的检测,可以对金属及不导电样品进行直接的超高分辨微观形貌观察和微区元素分析。

收费标准：

注：本收费标准从2015年10月1日开始执行，收费标准方案解释权归太阳集团tyc539材料科学与工学院材料测试实验中心。