磁控溅射镀膜仪
厂家：美国TM公司
型号：JS-20
主要性能参数：
镀膜室尺寸：φ700×700 mm；
极限真空：8×10-8Pa；
直流稳压电源：N≦5000W，四台；
直流偏压电源：N≦200W，-200V；
气路流量：0~200SCCM两路，0~10SCCM一路
靶数：3靶
基体背面加热温度：900℃
磁控溅射镀膜特点：
成膜速率高，基片温度低，膜的粘附性好，可实现大面积镀膜，膜层质量好，可重复性好，便于产业化生产等优点。
应用领域：
可在金属、玻璃、陶瓷基片上镀膜，主要体现在以下几个方面：
1、制备耐磨损薄膜；
2、制备硬质膜；
3、制备超硬膜；
4、制备固体润滑膜；
5、制备光电功能薄膜。
收费标准：
院内收费
院外收费
备注
500元/样
1000元/样
特殊样品及有特殊工艺要
求，价格面议
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